振動感知 Fork

埋入式振動感知系統，提高機械手臂的穩定性、達到即時檢知晶圓受損、偵測碰撞干涉等偶發性異常。
- 專利技術將感測器埋入Fork，感測更精準
- 支援長時間連續量測、On-Line放入產線量測
- 振(震)動傳遞優於市面上外置感測器
- 各式 Fork 可客製埋入 (真空/負壓型式、鋁合金/陶瓷材質)
- 單晶片寫入學習演算法
- 多種數據介接模式可搭配