Marco檢測

簡單明瞭的狀態指示燈, 可以自動/手動切換模式利用搖桿調整至各種角度進行檢查功能.
- 採用SEMI標準規範設計8吋與12吋專用晶圓盒
- 五軸伺服馬達控制
- 光源切換功能(綠光/黃光/白光)
- 可調整的晶圓檢測控制動作
- 可經由 I/O 訊號與上位主機端進行交握控制
- TCP/IP網路通訊介面&SECS/GEM通訊協定(另選)