Cassette or FOUP 與 Auto door-FOSB 均可搬送
高性能、高靈活性、高清潔度。 基於客戶要求與大多數供應商的機器兼容。可以設計和在短時間內製造出客戶需求 EFEM 機器。
功能簡介:
1. Product loading / unloading
2. Product handling automation (for process-, inspection-, metrology tools etc.)
3. 可搭配各家機械手臂晶圓取/放片功能控制
4. 晶圓預對準器-用於檢查晶圓對準定位和讀取晶圓產品ID編號
5. 能處理較大翹曲的晶片or薄化晶圓
6. 標準 Cassette 或 FOUP 或 FOSB 搭配
7. 依客戶需求客製機台設備配置, 傳送模式及參數
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