Sorter

高速，振動和噪音最小，可讀取正反面晶圓
晶圓進行可快速準確的篩選和分類
可設計採用雙臂型機械手臂，於各位置上可高速交替搬送
晶圓篩選機可搭配雙邊移動取片的機械手臂，因此不需使用 X-table

功能簡介:
1. 可搭配各家機械手臂晶圓取/放片功能控制
2. 晶圓定位感測回授訊號
3. 提供製程配方參數與晶圓手臂施放控制
4. 能處理較大翹曲的晶片or薄化晶圓
5. 經可調整的排序功能, 將晶圓按照順序及交叉方式進行施放作業
6. 依客戶需求客製機台設備配置, 傳送模式及參數