Load Port

標準版Load Port:
Cassette or FOUP 與 Auto door-FOSB 均可搬送
高潔淨度、高濕度控制、高通訊兼容性和多控制項，以實現更好的產品質量，並有效控制產品Q時間。

N2 Purge Load Port:
次世代半導體需要高潔淨度，當開關內扉時採用非接觸密封結構可抑制Foup內部微塵或使用N2 功能來抑制晶片汙染。

Frame Wafer Load Port
Frame Wafer Load Port可對應市面上不同廠牌Cassette採可變化式模組搭配，另可搭配N2 Purge模式。

** 以上 Load Port 皆已符合並取得SEMI S2認證 **


功能簡介:
1. 無顆粒 (particle free):可防止粒子滲透至FOUP中
2. 操作容易 (Easy maintenance):提供PC軟體調機工具, 提供標準通訊操作命令(ASCII)
3. 獨創性 (Originality):晶圓,高效率檢測技術(晶圓在席, 厚片/薄片, 交叉)
4. 協助客戶研發設計各項產品不同需求, 且可配合客戶自訂規格模組化等服務.